L79 / HCS-홀 효과 측정 시스템
반도체 장치의 특성
기술
린세이스 HCS는 반도체 장치의 특성 분석을 하는 장비입니다. 홀 상수, 홀 이동성, 시트 저항, 비저항, 전도도 및 전하 캐리어 농도를 측정합니다.
통합형 데스크탑 설정은 다양한 형상 및 온도 요구 사항에 따라 다양한 시료거치대를 제공합니다. 저온(LN2)(선택 사항)부착 및 최대 800°C의 고온 버전으로 폭넓은 온도 범위에서 측정할 수 있습니다. 영구 또는 수냉식 전자석은 +/-1Tesla의 최대 자속 밀도로 고정 또는 가변 자기장을 제공합니다.
시료 거치대 핸들이 측정 가열로를 진공으로 단단히 닫습니다. 측정 가열로에는 가스 유입 및 배출이 제어되고 변경 가능한 분위기에서 측정 할 수 있습니다. LN2와 최대 800°C에서 측정할 수있는 다양한 시료 거치대가 있습니다.
측정 중에 발광 다이오드에 조립 된 두 개의 자기 회로를 이동시켜 자속을 양에서 제로 및 음으로 변경합니다.
- 저항 및 전도도
- 홀 일정 및 이동성
- 전하 운반체 농도
- 고온 홀 측정
- 다루기 쉬움
- 통합 장치
사양
| 모델 | L79 HCS |
|---|---|
| 온도 범위 : | 구성에 따라 저온 ~ 800°C |
| 입력 전류 : | 5nA ~ 최대125mA |
| 홀 장력 : | 1µV ~ 2500µV |
| 디지털 분해능 : | 300pV |
| 시료 형상 : | 5 x 5mm ~ 25 x 25mm 및 최대 높이 5mm |
| 자기장: | 기본 : 최대0.7T의 영구 자석 극 직경 90mm 양극 측정을 위한 2개의 자석 설정. Alt .: 전자석 최대 1T(가변 필드). 극 지름 최대 76mm. 전원 공급 장치 75A / 40V. 바이폴라 측정을위한 전류 반전 스위치 |
| 센서 : | 여러가지 교환식 센서 구성 가능 |
| 비저항 범위 : | 10-4 ~ 107(옴/cm) |
| 캐리어 밀도 : | 107 ~ 1021(1/cm3) |
| 이동성 범위 : | 1 ~ 107(cm2/볼트 초) |
| 반복성 및 정확성 | |
| 전기 저항력 : | ±3%(대부분의 물질) ±6%(대부분의 물질) |
| 홀 상수 : | ±5%(대부분의 물질) ±6%(대부분의 물질) |
| 분위기 : | 진공, 불활성, 산화, 환원 |
부속품
- 다양한 센서 사용 가능
- 시료의 크기.
- 온도 범위.
- 영구 또는 전자석 사용 가능.
- 80K 측정을 위한 냉각 추가 기능.
- 제한된 냉각을 위한LN2 KREG 및 액체 질소통.
- 자동화 된 측정을 위한 전동식 리니어 스테이지.
- 정의된 대기를 위한 가스 유입 및 배출.
